纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究

摘要：

利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛-梁-膜结构.利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点.

关键词：纳米硅薄膜、超微压压力传感器、结构、性能

所属期刊栏目：29

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：江苏省科技支撑计划资助项目BE2009123

在线出版日期：2011-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64