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10.3969/j.issn.1000-9787.2010.10.020

纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究

引用
利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛-梁-膜结构.利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点.

纳米硅薄膜、超微压压力传感器、结构、性能

29

TP212.1(自动化技术及设备)

江苏省科技支撑计划资助项目BE2009123

2011-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

29

2010,29(10)

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