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10.3969/j.issn.1000-9787.2010.07.001

柔顺双稳态机构的研究现状与进展

引用
由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点.综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定型、多耦合场锁定型等柔顺双稳态机构,针对其原理、性能及应用等各个方面进行了综合比较.最后展望了柔顺双稳态机构的研究前景和可能遇到的问题与挑战.

柔顺机构、双稳态、锁定机构、微机电系统

29

TP212(自动化技术及设备)

2011-02-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

1-3,7

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传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

29

2010,29(7)

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