稀土La掺杂SnO2薄膜气敏特性

摘要：

用真空热蒸发两步法在玻璃衬底制备SnO2和La掺杂SnO2薄膜.研究氧化、热处理工艺和La掺杂含量对SnO2薄膜结构、气敏特性的影响.结果显示:经T=550℃,t=45 min氧化、热处理后,得到n型金红石结构SnO2薄膜.适当掺La可改善SnO2薄膜结晶状况,掺La后SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,在气体体积分数为1×10-2时,掺La(5%)的SnO2薄膜对乙醇的灵敏度为12;掺La(3%)的SnO2薄膜对丙酮的灵敏度可达到14.

关键词：真空蒸发、氧化、热处理、SnO2薄膜、La掺杂、气敏特性

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：内蒙古自冶区自然科学基金资助项目200607010109;内蒙古自冶区高等学校科学研究汁划资助项目NJ05030

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-57,61