MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究

摘要：

提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量.针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置.这对传感器的结构设汁具有重要的指导意义.

关键词：微机电系统、氮化钛、敏感结构、位置优化、谐振式压力传感器

所属期刊栏目：29

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：国家"863"计划资助项目2007AA042325;陕西省科学技术研究发展计划资助项目2007K05-04

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38