基于激光多普勒效应的MEMS的运动检测
提出了一种可以测量微机电系统(MEMS)面内瞬时速度和位移的测量系统.该系统利用差动激光多普勒效应,采用了频移技术和接收端的滤波技术将带有MEMS运动信息的光信号接收并解调,然后,利用LabVIEW和Matlab软件对采集的信号进行数字滤波和时频分析,从而得到被测器件的运动参量,为研究MEMS的动态特性提供了准确可靠的方法.
微机电系统、激光多普勒效应、时频分析
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TN247(光电子技术、激光技术)
2010-01-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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106-107,120