MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究

摘要：

研究了柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能.通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验.结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4GPa,抗拉强度为1.96GPa,应变约为3.6%.

关键词：微机电系统、Ni-W合金、电沉积、力学性能、拉伸试验

所属期刊栏目：28

分类号：TG115(金属学与热处理)

资助基金：国家"863"计划资助项目2006AA4Z326

在线出版日期：2010-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-48