预应力压电泵的结构设计与实验研究

摘要：

提出了一种由压电晶片驱动的新结构微泵,采用精密机械加工工艺制作而成.设计了预应力阀膜,组装压电微泵,对预应力阀的可靠性和压电微泵的液体输送特性做了研究.通过系统的实验研究证明:预应力压电泵具有很好的防倒吸能力,稳定性高,具有很好的工作性能,在250V,200Hz方波信号下,流速可达5.5027mL/min,且适于微型化,可为该类型泵的实际应用提供有意义的借鉴.

关键词：预应力、压电泵、稳定性、传输特性

所属期刊栏目：28

分类号：TH323(泵)

资助基金：上海市科学技术委员会科研计划资助项目08441900100

在线出版日期：2010-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-32,36