预应力压电泵的结构设计与实验研究
提出了一种由压电晶片驱动的新结构微泵,采用精密机械加工工艺制作而成.设计了预应力阀膜,组装压电微泵,对预应力阀的可靠性和压电微泵的液体输送特性做了研究.通过系统的实验研究证明:预应力压电泵具有很好的防倒吸能力,稳定性高,具有很好的工作性能,在250V,200Hz方波信号下,流速可达5.5027mL/min,且适于微型化,可为该类型泵的实际应用提供有意义的借鉴.
预应力、压电泵、稳定性、传输特性
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TH323(泵)
上海市科学技术委员会科研计划资助项目08441900100
2010-01-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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