基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

摘要：

设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案.仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50ms,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求.

关键词：传感器、气体流量、热膜

所属期刊栏目：28

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：104-106,109