光湿度传感器的折射率感湿机理

摘要：

在综合分析了Maxwell-Garnett理论和有效介质理论的基础上,针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖的复合模型,给出了以吸附参数和陶瓷材料气孔率为变量的薄膜折射率随湿度变化的理论关系.随着吸附参数的增大,SiO2薄膜的折射率增大;随着陶瓷材料气孔率的增大,SiO2薄膜的折射率将减小.利用薄膜折射率的变化检测湿度,灵敏度可以达到10-3数量级.通过计算机理论模拟与Alberto A H等人所做的实验结果对比,证明了该模型的正确性.

关键词：光湿度传感器、感湿机理、有效折射率、复合模型

所属期刊栏目：28

分类号：TP212.14(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60777035;教育部科学技术研究重点计划资助项目208040;上海市教育委员会科研计划资助项目07ZZ87;上海市重点学科建设项目T0501

在线出版日期：2009-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：68-71