传感器薄膜结构的改进与响应时间的分析

摘要：

提出了一种具有立体敏感效应的新型气体传感器敏感薄膜结构模型,即将传统的厚度均匀的平面型传感器敏感薄膜改进为由多条半圆柱凸起与多条沟槽相间隔的立体敏感结构.并根据扩散反应理论对新型和传统型2种薄膜结构的传感器响应时间进行了分析与比较,证明新型敏感结构的传感器具有更短的响应时间;分析了半圆柱凸起间距的相对系数对传感器响应时间的影响,得出了最佳取值.

关键词：立体敏感效应、半圆柱体、响应时间、气体传感器

所属期刊栏目：28

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60572026,60871024;教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目A0160419950120

在线出版日期：2009-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54