10.3969/j.issn.1000-9787.2009.03.024
抗冲击耐高温微加速度传感器设计
设计了一种耐高温(400℃)、抗过载(20000g.)的SOI微加速度传感器的结构,介绍了传感器的制作工艺,并应用ANSYS软件对其进行了仿真,讨论了传感器的量程、抗冲击能力、灵敏度、横向灵敏度、线性度等各项指标,证明该微传感器满足了设计时所提出的要求.
高温、抗过载、抗冲击、微加速度传感器
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TP212(自动化技术及设备)
2009-06-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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