微机械气流式水平姿态传感器的结构研究

摘要：

确定了微机械气流式水平姿态传感器2只热敏电阻器的最佳距离.采用有限元方法,利用AN-SYS-FLOTRAN CFD软件,计算了在不同倾斜状态下两热敏电阻器间距对敏感元件内流场分布的影响.计算结果表明:当两热敏电阻器的间距d改变时,温度场和流场都发生变化;在热敏电阻器加热功率一定的情况下,2只热敏电阻器处气流速度差△v与倾角的关系曲线也随d发生变化.d=400μm时,线性范围最小,斜率最小;当d=300μm时,线性最好,斜率较大;d=200μm时,线性范围较窄,斜率最大.当d=400μm时,传感器线性范围最小,灵敏度最小;当d=300μm时,传感器的线性最好,灵敏度比较大;d=200μm时,线性范围较窄,灵敏度最大.综合比较,取d=300μm为最佳方案.

关键词：间距、姿态、敏感结构、流场

所属期刊栏目：28

分类号：TN379(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60772012;北京市教委面上计划基金资助项目KM00710772009

在线出版日期：2009-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61