微机械气流式水平姿态传感器的结构研究
万方数据知识服务平台
应用市场
我的应用
会员HOT
万方期刊
×

点击收藏,不怕下次找不到~

@万方数据
会员HOT

期刊专题

10.3969/j.issn.1000-9787.2009.01.020

微机械气流式水平姿态传感器的结构研究

引用
确定了微机械气流式水平姿态传感器2只热敏电阻器的最佳距离.采用有限元方法,利用AN-SYS-FLOTRAN CFD软件,计算了在不同倾斜状态下两热敏电阻器间距对敏感元件内流场分布的影响.计算结果表明:当两热敏电阻器的间距d改变时,温度场和流场都发生变化;在热敏电阻器加热功率一定的情况下,2只热敏电阻器处气流速度差△v与倾角的关系曲线也随d发生变化.d=400μm时,线性范围最小,斜率最小;当d=300μm时,线性最好,斜率较大;d=200μm时,线性范围较窄,斜率最大.当d=400μm时,传感器线性范围最小,灵敏度最小;当d=300μm时,传感器的线性最好,灵敏度比较大;d=200μm时,线性范围较窄,灵敏度最大.综合比较,取d=300μm为最佳方案.

间距、姿态、敏感结构、流场

28

TN379(半导体技术)

国家自然科学基金资助项目60772012;北京市教委面上计划基金资助项目KM00710772009

2009-05-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

59-61

相关文献
评论
暂无封面信息
查看本期封面目录

传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

28

2009,28(1)

相关作者
相关机构

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn