10.3969/j.issn.1000-9787.2009.01.004
谐振式微加速度计设计与加工误差分析
为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度,设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构,从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差,设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力,有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响.分析了形状加工误差对加速度计性能的影响,为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障.
微杠杆、误差分析、加速度计
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TH11;TN40
2009-05-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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