10.3969/j.issn.1000-9787.2008.08.020
基于声表面波技术探测微量气体的理论分析
声表面波延迟线振荡器的频率对沉积在延迟线表面上的薄膜很敏感,在延迟线路径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜,这层薄膜吸附对其敏感的气体物质后,其质量密度、弹性参数、介电常数、电导率都将发生变化.给出了传感器的理论分析,根据检测需要,设计最优化的气体传感器.
声表面波、气体传感器、敏感膜
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TP212.9(自动化技术及设备)
国家自然科学基金资助项目60572018;天津市科技发展计划资助项目05YFGPGX04900
2009-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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63-64,68