10.3969/j.issn.1000-9787.2008.08.002
EFAB工艺关键技术评述
EFAB技术可实现真三维金属微结构器件的快速、自动化、批量制造,是微加工领域一项重大的突破.介绍了EFAB技术原理,并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进行了剖析.通过与其他微加工技术对比,揭示其在微加工技术群中的优越性,给出了应用实例.
EFAB、微机电系统、微结构、微加工
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TQ153.4
2009-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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5-7,15