10.3969/j.issn.1000-9787.2008.04.023
CMOS SnO2气体传感器模型与热仿真
为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制.
SnO2气体传感器、肖特基势垒、Freundlich等温吸附
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TP212(自动化技术及设备)
2009-03-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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