大行程纳米级步进压电微动台的特性研究

摘要：

运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型.采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动幅值的影响,得到了影响二者之比的4个因素的最优设计参数.根据逐步回归分析的方法建立了结构设计参数的数学模型,从而定量地分析各自变量与一阶固有频率之间的关系.

关键词：压电微动台、有限元分析、尺蠖运动、正交实验法、逐步回归

所属期刊栏目：27

分类号：TP2;TG5

资助基金：国家自然科学基金资助项目50105016

在线出版日期：2008-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-41,45