10.3969/j.issn.1000-9787.2008.02.013
大行程纳米级步进压电微动台的特性研究
运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型.采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动幅值的影响,得到了影响二者之比的4个因素的最优设计参数.根据逐步回归分析的方法建立了结构设计参数的数学模型,从而定量地分析各自变量与一阶固有频率之间的关系.
压电微动台、有限元分析、尺蠖运动、正交实验法、逐步回归
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TP2;TG5
国家自然科学基金资助项目50105016
2008-07-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
39-41,45