10.3969/j.issn.1000-9787.2008.02.001
微机电系统的现状与展望
在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一.对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,MEMS的市场情况,以及3种主要的MEMS微制造技术,即体微制造、面微制造和LIGA技术.最后,提出了MEMS将来研究和发展的趋势.
微机电系统、微细加工、展望
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TN301(半导体技术)
2008-07-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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