WO3气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响

摘要：

用简单的模型分析了薄膜气体传感器敏感材料的膜厚对气体响应时间的影响,该模型适用于分析WO3薄膜气体传感器的敏感特性.薄膜气体传感器的敏感特性依赖于气体原子在薄膜内的扩散和与气敏材料的响应;而气体原子在薄膜内的扩散是由薄膜厚度决定的.经过推导得出理论上WO3薄膜对NH3的敏感特性,并将其与实验所得的数据进行比较.最后,给出了WO3薄膜气体传感器的气敏特性与气体在其膜内扩散和膜厚的关系.

关键词：WO3薄膜、响应时间、气体传感器

所属期刊栏目：26

分类号：TN304.92(半导体技术)

在线出版日期：2007-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：12-14