基于PSD的微位移传感器

摘要：

微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术.分析了电流一电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压.应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取.传感器工作距离为10mm,测量范围为±0.5mm,采用精度为±0.5μm脚的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%.

关键词：位置敏感探测器、激光三角法、运算放大器、微弱信号

所属期刊栏目：26

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科技预研基金10.4.2.ZK001

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61