枕型PSD动态响应特性研究

摘要：

建立了S1880枕型位置敏感探测器(PSD)的有限元仿真模型,并对其动态响应特性进行了仿真,得到了3个扫描速度下的动态响应误差曲线,通过分析得出结论:PSD产生的动态响应误差随着扫描速度的增大而增大,在光敏面中心线上沿x轴方向匀速直线扫描时,PSD的动态响应误差最大值之比近似等于相应的光源扫描速度之比.仿真结果对枕型PSD的实际工程应用具有一定实用价值.

关键词：枕型、位置敏感探测器、有限元、动态响应特性、响应误差

所属期刊栏目：26

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36