ZnSnO3气敏薄膜的制备和性能

摘要：

利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体,通过直流溅射制备了气敏薄膜.研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响.实验结果表明:600℃老化后,气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450℃时,该薄膜对乙醇灵敏度约为650,有望开发成酒敏元件.

关键词：薄膜、直流溅射、电导、气敏特性

所属期刊栏目：25

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：70-72