一种基于四象限光电探测器的对准新方法

摘要：

在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法.激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间.透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面.根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准.

关键词：四象限光电探测器、对准、掩模板、误差

所属期刊栏目：25

分类号：TN29-B(光电子技术、激光技术)

资助基金：高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2004AA420040-2

在线出版日期：2006-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14