MEMS红外光源及应用

摘要：

针对传统红外光源需要另加调制部件,使得传感体系价高和笨重的不足,利用微电子工艺研制了一种用于便携式非扩散红外气体传感器的电调制红外光源,并对其辐射特性进行了测试.将光源应用于自行搭建的小型红外吸收气体传感系统中,对不同气体体积分数的CO2和SO2气体进行探测,测量精度分别达到20×10-6和50×10-6气体体积分数.重复测量偏差在10%之内,且光源辐射性能稳定,可用于多组分气体探测.

关键词：红外光源、电调制、红外吸收

所属期刊栏目：25

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市科技攻关项目02d111029

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80