基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计

摘要：

在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一.陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力.通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试.

关键词：遂道效应、可靠性、自检、陀螺仪、平板电极

所属期刊栏目：25

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目50275127;福建省自然科学基金A0110003;福建省科技攻关项目2002H022

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-63,66