CMOS电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真

摘要：

对与CMOS工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真,为后期的湿度传感器流片成功提供了有效的保证.该湿度传感器系采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.比较不同的测量方法,得出最优的测量电路.对测量电路进行理论推导后,对其进行模拟,得出了输出电压与相对湿度的关系图.最后,对该湿度传感器进行版图设计,并分析其后加工工艺.

关键词：湿度传感器、电容、测量电路、失配

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技攻关项目2002AA404010

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42