新型InSb-In薄膜磁阻式振动传感器的设计

摘要：

介绍了一种用InSb-In共晶体薄膜磁敏元件制成的准全方位振动传感器.它由两对对称轴方向互相垂直的InSb-In磁敏元件构成,可将检测方位范围由一维扩展到现在的二维平面,并用单片机P87LPC760对传感器信号进行处理,应用中可提高检测信号的准确性.经实测, 在机械振动的中低频率检测范围内,传感器的有效频带不窄于4～760Hz,其通频带内信噪比为30～32dB,经换算得灵敏度为16mV/gn.同时,得到传感器振动强度大小与磁敏电阻器输出信号关系曲线.

关键词：磁阻效应、薄膜、振动传感器、二维

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：广东省自然科学基金031515;广东省科技攻关项目2002A1060204

在线出版日期：2005-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：54-56