n+n组合结构半导体丙酮气敏元件研究

摘要：

n+n组合结构半导体气敏元件是基于气敏元件互补反馈原理的一种新结构半导体气敏元件.该元件是由2种传导类型相同的敏感体A和B构成,A和B都是n型半导体材料.理论分析表明:当敏感体A和B满足一定条件时,该元件具有高的选择性,同时,还具有好的热稳定性和高的灵敏度.通过试验,获得了性能较好的n+n组合结构丙酮气敏元件.

关键词：气敏元件、n+n组合结构、选择性、热稳定性、灵敏度、丙酮

所属期刊栏目：24

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：云南省科技厅资助项目95E007

在线出版日期：2005-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-43,46