矩形岛结构SiC压力传感器的性能研究

摘要：

运用非线性理论及有限元方法(ANSYS)研究了矩形岛结构的应力和非线性.应力与矩形岛长度之间的关系表明:使用矩形岛结构能使输出应力增大,可以提高灵敏度.应力的非线性随矩形岛长度增加而减小,矩形岛长度取接近应力最大值处的值.根据应变分布规律优化设计了传感器力敏电阻应变计.与常用的传感器(方膜传感器)比,设计为10kPa量程的SiC压力传感器显示出灵敏度高、非线性小和工作温度高等特点.

关键词：SiC、矩形岛结构、压力传感器、非线性理论

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40