10.3969/j.issn.1000-9787.2005.07.013
MEMS高g值加速度计力学分析
运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作.
微机电系统、加速度计、有限元法、刚度矩阵算法
24
TP212(自动化技术及设备)
2005-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
35-37,40
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10.3969/j.issn.1000-9787.2005.07.013
微机电系统、加速度计、有限元法、刚度矩阵算法
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TP212(自动化技术及设备)
2005-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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