10.3969/j.issn.1000-9787.2005.07.003
电化学微细加工监控系统的研究
在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm.和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点.
电化学微细加工、霍尔电流传感器、定位精度
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TG662
2005-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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