桥式硅压阻器件在气压测量中的应用

摘要：

介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点.通过设计实例说明了压阻器件的应用方法.试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域.

关键词：压阻效应、桥式压阻器件、气压测量

所属期刊栏目：24

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA421050

在线出版日期：2005-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：74-76