10.3969/j.issn.1000-9787.2005.05.019
一种基于PSD红外线位置传感器的设计
在介绍位置敏感器件(PSD)基本原理的基础上,提出一种以PSD为核心器件,应用于纠偏系统的红外线位置传感器的设计方法.介绍了该传感器的结构和测位原理,给出了硬件和软件的相关设计,分析了影响该传感器检测位置精度的因素,并提出了相应的解决办法.该位移传感器可检测的物体的最大运动位移为±18.5mm,检测精度优于0.1mm,采样频率可达1.5kHz.
位置敏感器件、位置检测、红外传感器、背景光
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TN21(光电子技术、激光技术)
2005-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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