微电机粗糙表面粘附仿真分析

摘要：

针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据.

关键词：微电机、粗糙表面、粘附力、微观连续介质修正理论

所属期刊栏目：23

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA862011

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-34,40