10.3969/j.issn.1000-9787.2004.10.012
微电机粗糙表面粘附仿真分析
针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据.
微电机、粗糙表面、粘附力、微观连续介质修正理论
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TP212(自动化技术及设备)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA862011
2004-12-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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33-34,40