光纤真空压力传感器的实验研究

摘要：

基于反射式光纤位移传感器原理,利用真空膜盒,设计了一种光纤真空压力传感系统,该系统具有体积小、结构简单、全光纤传输,易于实现远程测量及使用方便等特点.实验结果表明:在103～105Pa的压力测量范围内,实验测量系统的绝对误差为±0.6×103Pa .

关键词：光纤、压力传感器、真空膜盒

所属期刊栏目：23

分类号：TN928

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-28,32