双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究

摘要：

为了检定高准确度位移传感器、几何量计量定位、微细加工测量,同时,也测量那些可以转换为微位移或光程差的其它物理量.基于双光栅干涉仪原理,设计了一种数字式位移传感器,对该装置进行了理论分析和计算机模拟,实验验证:该测量装置的绝对误差不大于0.019μm.

关键词：双光栅干涉仪、莫尔条纹、位移传感器

所属期刊栏目：23

分类号：O436.1(光学)

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-23,26