预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响

摘要：

在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同.为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式.对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏度、量程和分辨力,但不影响非线性.在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证.

关键词：微机械、力平衡式加速度计、预载电压、静电力发生器

所属期刊栏目：23

分类号：TH824.4;U666.122

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-37,40