10.3969/j.issn.1000-9787.2004.04.025
元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用
随着计算机技术的发展和MEMS(micro-electro-mechanical system)自身发展的需要,应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的研究发展迅速.首先,简要介绍了元胞自动机原理,然后,综述了元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用现状,分析了应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的前景和方向.
元胞自动机、工艺仿真、微加工技术、微电子机械系统
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TN40(微电子学、集成电路(IC))
2004-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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