微尖的两种制作工艺

摘要：

描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法.微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题.

关键词：微尖、各向异性腐蚀、键合、电镀

所属期刊栏目：23

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：福建省自然科学基金A0110003;福建省科技攻关项目2002H022

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-76,79