微加速度开关吸附力仿真计算

摘要：

研究了平面度对微加速度开关触点形貌的影响,建立了触点吸附物理模型,根据微观连续介质理论推导出触点间包含斥力项的吸附力数学模型,经仿真得到吸附力随触点间隙的非线性变化规律,并得到最大吸附力,从而为微加速度开关的结构设计和系统分析提供理论基础.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、微加速度开关、吸附力、微观连续介质法

所属期刊栏目：22

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA862011;西安电子科技大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38