压阻式硅微型加速度传感器的研制

摘要：

利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合.

关键词：压阻式加速度传感器、硅、微加工

所属期刊栏目：22

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：31-33