LIGA相关技术及应用

摘要：

微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展.介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用.

关键词：三维微细加工、LIGA技术、准LIGA技术

所属期刊栏目：22

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：信息产业部微电子技术项目41308050116

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64