氟离子敏场效应管的研制

摘要：

阐述了一种氟离子敏场效应晶体管(FISFET)型传感器的结构和工作原理.它是在pH-ISFET传感器的基础上用PVC方法把离子敏场效应晶体管和氟化物敏感膜相结合,制成氟离子敏场效应晶体管.该传感器具有全固态化﹑体积小的特点.实验表明该传感器的灵敏度为50mV/C, 响应时间:小于1min,相关系数为0.9842,对氟化物的检测范围:1×10-6～1×10-1mol/L.

关键词：离子敏场效应晶体管、氟、敏感材料

所属期刊栏目：21

分类号：TP212;TN386(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：27-28