微气体传感器阵列及神经网络的应用

摘要：

简要分析由MEMS工艺制成的新型微气体传感器阵列的原理及其优点,在此基础上,应用人工神经网络对气体传感器阵列的输出进行模式分类、识别,实现对单一或混合气体的有选择性探测,识别率可高达95%.

关键词：MEMS工艺、微气体传感器阵列、人工神经网络

所属期刊栏目：21

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46