10.3969/j.issn.1000-9787.2002.08.011
用于半导体气体传感器的程控标定系统
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统.该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号.该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定.
半导体气体传感器、标定、程控系统、质量流量控制器、通用接口总线
21
TP273+.5(自动化技术及设备)
国家自然科学基金59995550-5;国家高技术研究发展计划863计划863-MEMS-101-03-01
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
32-34