10.3969/j.issn.1000-9787.2002.02.003
基于全息光栅的CCD位移传感器
提出了一种新型的基全息光栅的CCD位移传感器,该系统利用CCD分辨力高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,而且全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点,实现了位移的自动精确测量.该系统具有一定的实用价值及应用前景.
线阵CCD、全息光栅、位移传感器
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TP212(自动化技术及设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
8-10,14