微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术

摘要：

简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。

关键词：微型传感器、微型机电系统、氮化硅薄膜、磁控射频溅射、剥离技术、微加工技术

所属期刊栏目：20

分类号：TN304.055;TN405(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53