微型硅谐振式压力传感器的研制

摘要：

利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于10?000。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性，压力测试范围0～400?kPa，线性相关系数0.999?9，测试精度优于0.1%FS。

关键词：微电子机械加工技术、硅谐振梁、压力传感器

所属期刊栏目：20

分类号：TN629.1(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51