基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型

摘要：

在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析.通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型.传感器的接口电路由MOS电流镜和模拟开关构成,该电路具有线性度好和测量增益高的特点,并能有效地消除电路中的寄生电容对测量的影响,大大降低测量噪声.

关键词：小挠度、微型传感器、接口电路

所属期刊栏目：19

分类号：TH703.2;TP212(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21