基于MEMS技术的微型磁性开关阵列

摘要：

为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置,提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作.对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述,并给出了一些实验结果.

关键词：微机械、传感器、传感器阵列、开关、磁场

所属期刊栏目：19

分类号：TP211+.53(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：24-26